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 首頁 >產品中心>激光直寫光刻機

				

                

            

		

			

				
激光直寫光刻機

				

					

						

    
        
  1. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
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      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                便攜式AFM
            
        2. 
                        
      2. 
                小樣品AFM
            
        3. 
                        
      3. 
                大樣品AFM
            
        4. 
                        
      4. 
                全自動AFM
            
        5. 
                        
      5. 
                生物型AFM
            
        6. 
                        
      6. 
                光誘導力顯微鏡IR/SNOM/TERS
            
        7. 
                        
      7. 
                掃描熱學顯微鏡
            
        8. 
                        
      8. 
                掃描微波阻抗顯微鏡
            
        9. 
                        
      9. 
                AFM In-SEM 
            
        10. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                D系列臺階儀
            
        2. 
                        
      2. 
                P系列臺階儀
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                Zeta系列光學輪廓儀
            
        2. 
                        
      2. 
                白光干涉儀
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                單點厚度測量
            
        2. 
                        
      2. 
                微米（顯微）級光斑尺度厚度測量
            
        3. 
                        
      3. 
                自動厚度測量系統
            
        4. 
                        
      4. 
                在線厚度測量系統
            
        5. 
                        
      5. 
                橢偏儀
            
        6. 
                        
      6. 
                棱鏡耦合儀
            
        7. 
                    
      
                        +
        
      6. 
        
                
        
    6. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                表面等離子共振顯微鏡
            
        2. 
                        
      2. 
                表面等離子共振儀
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      7. 
        
                
        
    7. 
            
            
                        +
        
      8. 
        
                
        
    8. 
            
            
                        +
        
      9. 
        
            
    
                +
    
    2. 
        
  2. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                納米拉伸儀
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                原位TEM四自由度納米操縱樣品桿
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                原位拉伸臺
            
        2. 
                        
      2. 
                In-SEM納米操作機
            
        3. 
                        
      3. 
                In-SEM納米壓痕
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
            
    
                +
    
    3. 
        
  3. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                小型研發臺
            
        2. 
                        
      2. 
                手動探針臺
            
        3. 
                        
      3. 
                半自動探針臺
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                示波器
            
        2. 
                        
      2. 
                矢量網絡分析儀
            
        3. 
                        
      3. 
                頻譜分析儀
            
        4. 
                        
      4. 
                功率分析儀
            
        5. 
                        
      5. 
                參數分析儀
            
        6. 
                        
      6. 
                誤碼率測試儀
            
        7. 
                        
      7. 
                相干光信號分析儀
            
        8. 
                        
      8. 
                頻率計數器
            
        9. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                探針及配件
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
            
    
                +
    
    4. 
        
  4. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                In-SEM原子力顯微鏡
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                In-SEM納米壓痕
            
        2. 
                        
      2. 
                In-SEM 納米操作機
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                原位芯片及Holder
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
            
    
                +
    
    5. 
        
  5. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
                
        
    6. 
            
            
                        +
        
      7. 
        
                
        
    7. 
            
            
                        +
        
      8. 
        
                
        
    8. 
            
            
                        +
        
      9. 
        
                
        
    9. 
            
            
                        +
        
      10. 
        
                
        
    10. 
            
            
                        +
        
      11. 
        
                
        
    11. 
            
            
                        +
        
      12. 
        
                
        
    12. 
            
            
                        +
        
      13. 
        
            
    
                +
    
    6. 
        
  6. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                電鏡樣品清洗機
            
        2. 
                        
      2. 
                等離子清洗機
            
        3. 
                        
      3. 
                紫外臭氧清洗機
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                被動隔震臺
            
        2. 
                        
      2. 
                主動隔震臺
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      6. 
        
                
        
    6. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                樣品切割
            
        2. 
                        
      2. 
                鑲嵌
            
        3. 
                        
      3. 
                研磨拋光
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      7. 
        
                
        
    7. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                工業/測量顯微鏡
            
        2. 
                        
      2. 
                視頻顯微鏡
            
        3. 
                        
      3. 
                金相顯微鏡
            
        4. 
                        
      4. 
                偏光顯微鏡
            
        5. 
                        
      5. 
                立體/體視顯微鏡
            
        6. 
                        
      6. 
                USB顯微鏡
            
        7. 
                    
      
                        +
        
      8. 
        
                
        
    8. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                干燥箱
            
        2. 
                        
      2. 
                氮氣柜
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      9. 
        
            
    
                +
    
    7. 
        
  7. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                AFM探針
            
        2. 
                        
      2. 
                AFM標樣基底
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                氮化硅薄膜窗口
            
        2. 
                        
      2. 
                Quantifoil多孔載網
            
        3. 
                        
      3. 
                TEM耗材
            
        4. 
                        
      4. 
                SEM耗材
            
        5. 
                        
      5. 
                X-ray耗材
            
        6. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                GGB探針
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                光柵模板
            
        2. 
                        
      2. 
                點陣模板
            
        3. 
                        
      3. 
                孔狀模板
            
        4. 
                        
      4. 
                納米壓印膠
            
        5. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
            
    
                +
    
    8. 
    

					

					

						
    
                              
                             
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  • 
								
								多功能無掩膜激光直寫
                               
    激光直寫、光柵掃描曝光、快速曝光復雜的圖形 、灰度光刻、無掩膜光刻
    
							
    • 
                              
                             
  • 
								
								無掩膜激光直寫
                               
    利用強度可變的激光束對基片表面的抗蝕材料實施變劑量曝光，顯影后便在抗蝕層表面形成要求的浮雕輪廓。
    
							
    • 
                             						

					

				


		


		

			
			

		

				

		
		
		
		
	
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