微納米光學

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微納米光學

MVI散射式掃描近場光學顯微鏡

NX10 高精度原子力顯微鏡

D500 高精度臺階儀

Profilm 3D光學輪廓儀

Zeta20 多模式三維光學輪廓儀

MVI散射式掃描近場光學顯微鏡:

AFM SNOM/Nano IR，基于AFM高精度場強表征

NX10 高精度原子力顯微鏡:

亞納米形貌、電學、力學性質綜合表征

D500 高精度臺階儀:

臺階高度測試、2D應力測試（可擴展3Dmapping型號）

Profilm 3D光學輪廓儀:

器件輪廓測試、膜厚測試

Zeta20 多模式三維光學輪廓儀:

器件寬粗糙度測試、表面輪廓形貌表征、應力應變測試

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