KLA公司全系列的力學測試產品均采用電磁驅動原理的加載力激發器， iNano臺式納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和優線性特性的電磁力驅動原理的深刻理解，以及良好的靈敏度的三片式電容傳感器的設計，保證全系列納米力學產品在整個量程范圍內均能得到高精準、高分辨的控制。50mN載荷范圍，3nN加載精度，0.002nm位移精度。
? 快速準確的動態納米壓痕測試
? 電磁加載方式
? 快速準確的位移測量
? 超高框架剛度
? 熱漂移 <0.05nm/s
主要功能
靜態/動態納米壓痕：楊氏模量/硬度
連續剛度：高準度薄膜測試，楊氏模量/硬度，<100nm
DMA功能：橡膠等粘彈性材料存儲模量/損耗系數
劃痕測試
高溫納米壓痕300℃
斷裂韌性測試
橫向加載，泊松比測試
3D/4D 楊氏模量/硬度mapping
?考慮到靈活性，iNano允許進行廣泛的測試，包括但不限于頻率特定實驗，存儲和損耗模量，模量和硬度（Oliver和Pharr）以及恒定應變率。
?電磁執行器用于Nanomechanics生產的所有系統，包括iNano。 這些執行器是堅固的線性裝置，固有地解耦力和位移。 它們的大力為50 mN，分辨率為3 nN，超低噪聲電流小于200 nN。
?iNano是時間常數為20微秒的商用納米壓痕儀，可同時滿足大壓痕行程50μm，噪聲<0.1 nm，數字分辨率0.02 nm，漂移率<0.05nm / s的規格要求。
?為確保業內廣泛，可靠的數據，iNano能夠實現0.1 Hz至1 kHz的動態激勵頻率。
?樣品臺移動Z軸為25 mm，X為100 mm，Y軸為150 mm，可測試各種樣品高度和大樣品區。
?載荷框架剛度> 1,000,000 N / m
?尖端校準系統集成到軟件中，可實現快速，準確和自動的尖端校準。
?可用的方法包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和標準
?可用劃痕選項，大正常載荷為50 mN，大劃痕距離為2.5 mm，大劃痕速度為500μm/ s。
?可用的遠程視頻選件在iNano腔內提供兩個不同的視角，除標準顯微鏡物鏡外還配有USB攝像頭。
使用可選的NanoBlitz拓撲和斷層掃描軟件對材料進行3D和4D映射。
Nanomechanics致力于測試各種材料和器件，獲得應用數據和結果，以下應用說明只是我們測試材料的很小一部分，如果您沒有在列表中看到您所需的應用，請與我們聯系。很有可能我們已經測試了一個類似的樣本。
聚合物動態彈性性能的測試
描述像聚合物這樣的粘彈性材料是阻尼和振動控制應用的關鍵。 納米力學公司的核心技術可以將聚合物的動態量表征為應用頻率的函數。此外，該測試可以在生產的零件上完成，并且不需要傳統DMA測試設備的大體積和特定幾何形狀。
Dynamic Mechanical Analysis（DMA）of Polymers by Oscillatory Indention
脆性材料的壓痕斷裂韌性
脆性材料中抗裂紋擴展性的機械性能稱為“斷裂韌性”。 傳統上，由于樣品制備測量該性質可能是耗時且昂貴的。 使用立方角壓頭幾何形狀的壓痕測試，通過提供快速結果和大數據集來增強統計數據，從而有助于測量裂縫。 此外，壓痕可以提供關于裂紋初始載荷的信息，可用于比較不同的材料加工條件。 該技術也可以應用于硬涂層，因其沒有標準的斷裂韌性幾何形狀。
高溫測試壓頭的尖端材料
Nanomechanics在鉬支架上提供單晶碳化鎢尖端，用于高溫測試應用。 這些尖端的額定溫度超過1000°C，可提供各種尖端幾何形狀。這些尖端還具有高導電性，因此適用于原位和環境實驗。
聚合物的應變率靈敏度
聚合物的彈性形變通常表現出時間依賴性。此外，聚合物通常具有隨時間變化的塑性變形，
即蠕變。 納米力學公司的儀器完全能夠通過應用應變率和測量施加的壓力來表征聚合物和其他
材料的蠕變。 這些測試的信息對塑料加工中的成形性和擠出過程非常有用。
ISO 14577標準化硬度和彈性模量測試
來自Nanomechanics的iNano和iMicro納米壓痕儀符合ISO 14577標準化硬度測試。 作為參考，一些測量的壓痕彈性模量對照圖中右側彈性模量的傳統測量值繪制，適用于從聚合物到金屬到剛性陶瓷的各種材料。
生物相容性材料的復合剪切模量
本應用說明演示了iNano納米壓痕儀如何用于測試生物材料，并解釋了此類測試所需的特硬件，程序和分析。 可食用明膠用于該演示，因為它具有與組織相當的性質，可容易獲取并且制備方法是可控和可重復的。
循環壓痕測試
除了作為深度函數的屬性的動態測量之外，Nanomechanics還提供執行循環壓痕測試的能力。 我們的優勢是速度，精度和準確性。 圖中所示的每個加載 - 卸載循環在4秒內完成，從而有效地測量彈性模量和硬度。
微球的納米力學測試：顆粒壓碎應用
微球在現代生活中有著無數的用途。 中空微球用于降低制造材料的密度。 在現代液相色譜中，分析物被迫通過填充有玻璃微球的柱，從而使分析物的組分基于它們可以通過柱的速度而分離。 在電子封裝中，金屬化聚合物微球被包裝在一起以形成靈活，可靠的連接。 在這項工作中測試的玻璃微球被摻入油漆中以增強外觀和耐擦傷性。 在所有這些應用中，了解微球的機械性質是設計的關鍵方面。 通過硬件和測程序的相對較小的變化，InForce 50成為一般的小型壓縮測試系統。
薄膜：基板立彈性模量測量
了解薄膜的機械性能對于設計可靠的部件非常重要。 無論您是在硬質基材上使用軟膜，還是在柔性基材上使用硬膜，Nanomechanics都擁有使用壓痕測試，表征基材立彈性模量的測試方法。 此外，我們通過提供低于20nm厚度的數據在某些情況下小于10nm，推動薄膜測試的較為限。
CoorsTek TTZ氧化鋯和單晶氧化鋁的高速機械性能
在這項工作中，我們使用標準化和先進的儀表壓痕來測量兩種常見技術陶瓷的機械性能：CoorsTek TTZ氧化鋯和單晶氧化鋁。 通過標準化壓痕，我們測得TTZ的楊氏模量為249±9.7 GPa，維氏硬度為1600±65 kg / mm2; 我們同樣測得氧化鋁的楊氏模量為435±14GPa，維氏硬度為2820±100kg / mm2。 通過專有的壓痕技術（NanoBlitz 3D），我們生成了TTZ的機械性能圖，它闡明了初級立方氧化鋯相和顆粒間二氧化硅相之間的機械區別。
