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首頁> > 產品中心 > CG系列真空高低溫探針臺

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CG系列真空高低溫探針臺
品 牌 :Semishare
型 號 :SCG
產 地 :——
關鍵詞 :SCG系列高低溫真空探針臺

    CG高低溫真空探針臺能夠實現樣品在真空高低溫環境下的精確電性、光強、波長、磁場等測試,其在超低溫,超高真空,自動控制,激光模擬方面發揮著較為有的技術優勢

基本信息

產品型號SCG-O-4工作環境高低溫真空環境
電力需求AC220V,50~60HZ操控方式手動探針臺
產品尺寸1100*1100*530mm設備重量約190KG

應用方向

CG高低溫真空探針臺在高低溫真空環境下的芯片測試、LD/LED/PD測試、光纖光譜特性測試、材料/器件的IV/CV特性測試、霍爾測試、電磁輸運特性、高頻特性測試等

常見2種應用需要真空測試環境

較為低溫測試:

晶圓在低溫大氣環境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電較為而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。同時由于真空絕熱作用可以有效提高制冷效率。
高溫無氧化測試:
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電較為間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。


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