CG高低溫真空探針臺能夠實現樣品在真空高低溫環境下的精確電性、光強、波長、磁場等測試,其在超低溫,超高真空,自動控制,激光模擬方面發揮著較為有的技術優勢
CG高低溫真空探針臺在高低溫真空環境下的芯片測試、LD/LED/PD測試、光纖光譜特性測試、材料/器件的IV/CV特性測試、霍爾測試、電磁輸運特性、高頻特性測試等 常見2種應用需要真空測試環境 較為低溫測試:基本信息
產品型號 SCG-O-4 工作環境 高低溫真空環境 電力需求 AC220V,50~60HZ 操控方式 手動探針臺 產品尺寸 1100*1100*530mm 設備重量 約190KG 應用方向
高溫無氧化測試:
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電較為間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。