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首頁>  > 產品中心 > NX-3DM 可旋轉全自動原子力顯微鏡

				

                

            

		

			

				

					

						

    
        
  1. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
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    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                便攜式AFM
            
        2. 
                        
      2. 
                小樣品AFM
            
        3. 
                        
      3. 
                大樣品AFM
            
        4. 
                        
      4. 
                全自動AFM
            
        5. 
                        
      5. 
                生物型AFM
            
        6. 
                        
      6. 
                光誘導力顯微鏡IR/SNOM/TERS
            
        7. 
                        
      7. 
                掃描熱學顯微鏡
            
        8. 
                        
      8. 
                掃描微波阻抗顯微鏡
            
        9. 
                        
      9. 
                AFM In-SEM 
            
        10. 
                    
      
                        +
        
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    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                D系列臺階儀
            
        2. 
                        
      2. 
                P系列臺階儀
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                Zeta系列光學輪廓儀
            
        2. 
                        
      2. 
                白光干涉儀
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                單點厚度測量
            
        2. 
                        
      2. 
                微米（顯微）級光斑尺度厚度測量
            
        3. 
                        
      3. 
                自動厚度測量系統
            
        4. 
                        
      4. 
                在線厚度測量系統
            
        5. 
                        
      5. 
                橢偏儀
            
        6. 
                        
      6. 
                棱鏡耦合儀
            
        7. 
                    
      
                        +
        
      6. 
        
                
        
    6. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                表面等離子共振顯微鏡
            
        2. 
                        
      2. 
                表面等離子共振儀
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      7. 
        
                
        
    7. 
            
            
                        +
        
      8. 
        
                
        
    8. 
            
            
                        +
        
      9. 
        
            
    
                +
    
    2. 
        
  2. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                納米拉伸儀
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                原位TEM四自由度納米操縱樣品桿
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                原位拉伸臺
            
        2. 
                        
      2. 
                In-SEM納米操作機
            
        3. 
                        
      3. 
                In-SEM納米壓痕
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
            
    
                +
    
    3. 
        
  3. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                小型研發臺
            
        2. 
                        
      2. 
                手動探針臺
            
        3. 
                        
      3. 
                半自動探針臺
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                示波器
            
        2. 
                        
      2. 
                矢量網絡分析儀
            
        3. 
                        
      3. 
                頻譜分析儀
            
        4. 
                        
      4. 
                功率分析儀
            
        5. 
                        
      5. 
                參數分析儀
            
        6. 
                        
      6. 
                誤碼率測試儀
            
        7. 
                        
      7. 
                相干光信號分析儀
            
        8. 
                        
      8. 
                頻率計數器
            
        9. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                探針及配件
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
            
    
                +
    
    4. 
        
  4. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                In-SEM原子力顯微鏡
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                In-SEM納米壓痕
            
        2. 
                        
      2. 
                In-SEM 納米操作機
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                原位芯片及Holder
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
            
    
                +
    
    5. 
        
  5. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
                
        
    6. 
            
            
                        +
        
      7. 
        
                
        
    7. 
            
            
                        +
        
      8. 
        
                
        
    8. 
            
            
                        +
        
      9. 
        
                
        
    9. 
            
            
                        +
        
      10. 
        
                
        
    10. 
            
            
                        +
        
      11. 
        
                
        
    11. 
            
            
                        +
        
      12. 
        
                
        
    12. 
            
            
                        +
        
      13. 
        
            
    
                +
    
    6. 
        
  6. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                電鏡樣品清洗機
            
        2. 
                        
      2. 
                等離子清洗機
            
        3. 
                        
      3. 
                紫外臭氧清洗機
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                被動隔震臺
            
        2. 
                        
      2. 
                主動隔震臺
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      6. 
        
                
        
    6. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                樣品切割
            
        2. 
                        
      2. 
                鑲嵌
            
        3. 
                        
      3. 
                研磨拋光
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      7. 
        
                
        
    7. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                工業/測量顯微鏡
            
        2. 
                        
      2. 
                視頻顯微鏡
            
        3. 
                        
      3. 
                金相顯微鏡
            
        4. 
                        
      4. 
                偏光顯微鏡
            
        5. 
                        
      5. 
                立體/體視顯微鏡
            
        6. 
                        
      6. 
                USB顯微鏡
            
        7. 
                    
      
                        +
        
      8. 
        
                
        
    8. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                干燥箱
            
        2. 
                        
      2. 
                氮氣柜
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      9. 
        
            
    
                +
    
    7. 
        
  7. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                AFM探針
            
        2. 
                        
      2. 
                AFM標樣基底
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                氮化硅薄膜窗口
            
        2. 
                        
      2. 
                Quantifoil多孔載網
            
        3. 
                        
      3. 
                TEM耗材
            
        4. 
                        
      4. 
                SEM耗材
            
        5. 
                        
      5. 
                X-ray耗材
            
        6. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                GGB探針
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                光柵模板
            
        2. 
                        
      2. 
                點陣模板
            
        3. 
                        
      3. 
                孔狀模板
            
        4. 
                        
      4. 
                納米壓印膠
            
        5. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
            
    
                +
    
    8. 
    

					

					

						

							

						

						

							

								
							

							

								

									
NX-3DM 可旋轉全自動原子力顯微鏡

									
品  牌 ：Park
型  號 ：NX-3DM
產  地 ：韓國
									
關鍵詞 ：NX-3DM,原子力顯微鏡,AFM,SPM,掃描探針顯微鏡

								

								

									
									產品手冊下載
								

							

						

						

							

								
    
									
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     Park
Systems推出NX-3DM全自動原子力顯微鏡系統，專為垂懸輪廓、高分辨率側壁成像和臨界角的測量而設計。借助XY軸和Z軸立掃描系統和傾斜式Z軸掃描器，NX-3DM成功克服精確側壁分析中的法向和喇叭形頭所帶來的挑戰。在True Non-Contact?模式下，XE-3DM可實現帶有高長寬比尖端的柔軟光刻膠的無損測量。

納米測量的精確性和高通量需要搭配高成本效益的解決方案，才能夠從研究領域擴展到實際生產應用中。面對這一成本挑戰，Park Systems帶來了工業級的原子力顯微鏡解決方案，讓自動化測量更快、更高效，讓探針更耐久！我們放棄了慢速又昂貴的掃描電子顯微鏡，轉而采用高效、自動化且價格實惠的3D原子力顯微鏡，進一步降低線上工業制造的測量成本?，F如今，制造商需要3D信息來表現溝槽輪廓和側壁變形異特征，從而準確找到新設計中的缺陷。模塊化原子力顯微鏡平臺實現了快速的軟硬件更換，使得升級更為劃算，從而不斷優化復雜并且苛刻的生產質量控制測量。此外，我們的原子力顯微鏡探針使用壽命延長至少2倍，進一步減少購置成本。傳統的原子力顯微鏡采用輕敲式掃描，這讓探針更易磨損，而我們的True
Non-Contact?模式能夠有效地保護探針，延長其使用壽命。


    基本技術
200 mm電動XY平臺
300 mm電動XY平臺
電動Z平臺
行程可達275mm x 200mm,
0.5 μm分辨率
行程可達400 mm x 300 mm，
0.5μm分辨率 小于1μm的重現性
27 mm Z行程距離
0.08μm 分辨率小于1μm
Z掃描范圍
Z掃描噪音
Z向探針噪音
15μm（大模式）分辨率 0.016nm
2μm  （小模式）分辨率 0.002nm
小于0.05nm
0.02 nm
200mm 系統
300mm 系統
設備需求環境
1500mm x980mm x 2050 mm
大約1020kg
 
 1840mm x 1170 mm x2050 mm
大約 2950 kg
 
室溫10 ℃~40 ℃
操作18 ℃~24 ℃
濕度 30%~60%

    主要功能
    創新的3D測量方法
側切和外伸輪廓；臨界尺寸；側壁粗糙度測量
    工業界低的噪音
    靜電消除系統確保穩定的掃描環境
    自動測量控制，提高效率
    
    應用
臨界尺寸和側壁測量
A、光刻膠致密線紋的橫截面SEM圖像;B、三維AFM圖像;C、模板AFM輪廓線



							
							
							
							

						

					

				

			

			

		

		
		
		

   					

		

	
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