液體顆粒度儀
可檢測光阻產品、SOG 等產品中0.15um 的顆粒
? 可偵測到粒徑0.15um 的粒子
? 可自行設定的粒徑范圍0.15~0.5um,通過KE-40B1 的控制器可擴充至10 個通道
出廠設定為4 通道:0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um
? 綜合泄漏傳感器與報警輸出
? 客戶可在此測量范圍內自行選擇粒徑通道(通過 KE-40B1)

出廠設定為4 通道:0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um
? 綜合泄漏傳感器與報警輸出
? 客戶可在此測量范圍內自行選擇粒徑通道(通過 KE-40B1)
