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首頁>  > 產品中心 > NX-Hivac 高真空原子力顯微鏡

				

                

            

		

			

				

					

						

    
        
  1. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
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    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                便攜式AFM
            
        2. 
                        
      2. 
                小樣品AFM
            
        3. 
                        
      3. 
                大樣品AFM
            
        4. 
                        
      4. 
                全自動AFM
            
        5. 
                        
      5. 
                生物型AFM
            
        6. 
                        
      6. 
                光誘導力顯微鏡IR/SNOM/TERS
            
        7. 
                        
      7. 
                掃描熱學顯微鏡
            
        8. 
                        
      8. 
                掃描微波阻抗顯微鏡
            
        9. 
                        
      9. 
                AFM In-SEM 
            
        10. 
                    
      
                        +
        
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    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                D系列臺階儀
            
        2. 
                        
      2. 
                P系列臺階儀
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                Zeta系列光學輪廓儀
            
        2. 
                        
      2. 
                白光干涉儀
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                單點厚度測量
            
        2. 
                        
      2. 
                微米（顯微）級光斑尺度厚度測量
            
        3. 
                        
      3. 
                自動厚度測量系統
            
        4. 
                        
      4. 
                在線厚度測量系統
            
        5. 
                        
      5. 
                橢偏儀
            
        6. 
                        
      6. 
                棱鏡耦合儀
            
        7. 
                    
      
                        +
        
      6. 
        
                
        
    6. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                表面等離子共振顯微鏡
            
        2. 
                        
      2. 
                表面等離子共振儀
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      7. 
        
                
        
    7. 
            
            
                        +
        
      8. 
        
                
        
    8. 
            
            
                        +
        
      9. 
        
            
    
                +
    
    2. 
        
  2. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                納米拉伸儀
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                原位TEM四自由度納米操縱樣品桿
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                原位拉伸臺
            
        2. 
                        
      2. 
                In-SEM納米操作機
            
        3. 
                        
      3. 
                In-SEM納米壓痕
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
            
    
                +
    
    3. 
        
  3. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                小型研發臺
            
        2. 
                        
      2. 
                手動探針臺
            
        3. 
                        
      3. 
                半自動探針臺
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                示波器
            
        2. 
                        
      2. 
                矢量網絡分析儀
            
        3. 
                        
      3. 
                頻譜分析儀
            
        4. 
                        
      4. 
                功率分析儀
            
        5. 
                        
      5. 
                參數分析儀
            
        6. 
                        
      6. 
                誤碼率測試儀
            
        7. 
                        
      7. 
                相干光信號分析儀
            
        8. 
                        
      8. 
                頻率計數器
            
        9. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                探針及配件
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
            
    
                +
    
    4. 
        
  4. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                In-SEM原子力顯微鏡
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                In-SEM納米壓痕
            
        2. 
                        
      2. 
                In-SEM 納米操作機
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                原位芯片及Holder
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
            
    
                +
    
    5. 
        
  5. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
                
        
    6. 
            
            
                        +
        
      7. 
        
                
        
    7. 
            
            
                        +
        
      8. 
        
                
        
    8. 
            
            
                        +
        
      9. 
        
                
        
    9. 
            
            
                        +
        
      10. 
        
                
        
    10. 
            
            
                        +
        
      11. 
        
                
        
    11. 
            
            
                        +
        
      12. 
        
                
        
    12. 
            
            
                        +
        
      13. 
        
            
    
                +
    
    6. 
        
  6. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                電鏡樣品清洗機
            
        2. 
                        
      2. 
                等離子清洗機
            
        3. 
                        
      3. 
                紫外臭氧清洗機
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                被動隔震臺
            
        2. 
                        
      2. 
                主動隔震臺
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      6. 
        
                
        
    6. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                樣品切割
            
        2. 
                        
      2. 
                鑲嵌
            
        3. 
                        
      3. 
                研磨拋光
            
        4. 
                    
      
                        +
        
      7. 
        
                
        
    7. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                工業/測量顯微鏡
            
        2. 
                        
      2. 
                視頻顯微鏡
            
        3. 
                        
      3. 
                金相顯微鏡
            
        4. 
                        
      4. 
                偏光顯微鏡
            
        5. 
                        
      5. 
                立體/體視顯微鏡
            
        6. 
                        
      6. 
                USB顯微鏡
            
        7. 
                    
      
                        +
        
      8. 
        
                
        
    8. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                干燥箱
            
        2. 
                        
      2. 
                氮氣柜
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      9. 
        
            
    
                +
    
    7. 
        
  7. 
        
        
        
      
                
        
    1. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                AFM探針
            
        2. 
                        
      2. 
                AFM標樣基底
            
        3. 
                    
      
                        +
        
      2. 
        
                
        
    2. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                氮化硅薄膜窗口
            
        2. 
                        
      2. 
                Quantifoil多孔載網
            
        3. 
                        
      3. 
                TEM耗材
            
        4. 
                        
      4. 
                SEM耗材
            
        5. 
                        
      5. 
                X-ray耗材
            
        6. 
                    
      
                        +
        
      3. 
        
                
        
    3. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                GGB探針
            
        2. 
                    
      
                        +
        
      4. 
        
                
        
    4. 
            
            
            
        
                        
      1. 
                光柵模板
            
        2. 
                        
      2. 
                點陣模板
            
        3. 
                        
      3. 
                孔狀模板
            
        4. 
                        
      4. 
                納米壓印膠
            
        5. 
                    
      
                        +
        
      5. 
        
                
        
    5. 
            
            
                        +
        
      6. 
        
            
    
                +
    
    8. 
    

					

					

						

							

						

						

							

								
							

							

								

									
NX-Hivac 高真空原子力顯微鏡

									
品  牌 ：Park
型  號 ：NX-Hivac
產  地 ：韓國
									
關鍵詞 ：NX-Hivac，原子力顯微鏡、AFM、高真空、SPM

								

								

									
									產品手冊下載
								

							

						

						

							

								
    
									
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Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準確度好、可重復性好及針尖和樣本損傷低等優點，因此用戶可測量各種故障分析應用中許多信號響應，例如掃描擴散電阻顯微術(SSRM)的摻雜物濃度。Park NX-Hivac使得真空環境中高精確度和高分辨率測量的材料科學研究遠離氧氣與其它藥劑的影響，在高真空條件下執行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而降低對樣本和針尖的損傷。


如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結果。

    基本技術參數
掃描儀
光學顯微鏡
樣品臺
XY掃描儀：50 μm x
  50 μm
（100 μm x 100 μm可選）
物鏡：10x
5M pixel
  CCD
XY平臺行程：22 mm x 22mm
樣品大?。?/span>50mm x 50mm，厚度20 mm
物理信息
軟件
高真空
真空室：300mm x 420mm x 320mm
SmartScan：Park AFM操作軟件
XEI:
  AFM數據分析軟件
Hiva
  Manager:自動真空控制軟件
真空等級：小于 1 x 10-5 torr
泵速：5 min內達到10-5 torr

    主要功能
    用于失效分析應用的高真空掃描
Park NX-Hivac允許故障分析工程師通過高真空SSRM提高的靈敏和分辨率。高真空掃描能提供比大氣或干燥的N2條件下更高的精度，更好的可重復性，還能減少針尖和樣品損傷 ，用戶從而可以在失效分析應用中測量更廣闊范圍的涂料濃度和信號強度，
    自動化特征
用戶所需的輸入操作簡單，用戶可以更快地掃描從而提高實驗室的實驗成果。

       應用
    在二維金屬材料電性能方面的研究
    C-AFM in
Air vs High Vacuum MoS2
       
                                                                  在空氣和真空下MoS2 的AFM 圖

    相關文獻
Jonathan Ludwig et al，”Effects of buried grain boundaries in multilayer
MoS2”Journal：Nanotechnology, Volume 30, Number 28.

							
							
							
							

						

					

				

			

			

		

		
		
		

   					

		

	
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