桌面式等離子清洗、蝕刻系統，等離子刻蝕&反應離子刻蝕系統
腔室結構：
型號比較：
應用：
· 刻蝕：氧化物刻蝕 RIE模式， 氮化物刻蝕RIE模式， 硅刻蝕 RIE模式， 光刻膠刻蝕 RIE模式， 聚合物（RIE+PE），二維材料 RIE
· 表面處理：親水處理 PE模式，功能化 PE模式，粘附力增強：PE+RIE，高分子： RIE+PE
桌面式等離子清洗、蝕刻系統，等離子刻蝕&反應離子刻蝕系統
腔室結構：
型號比較：
應用：
· 刻蝕：氧化物刻蝕 RIE模式， 氮化物刻蝕RIE模式， 硅刻蝕 RIE模式， 光刻膠刻蝕 RIE模式， 聚合物（RIE+PE），二維材料 RIE
· 表面處理：親水處理 PE模式，功能化 PE模式，粘附力增強：PE+RIE，高分子： RIE+PE
