一、 簡介
UVISEL光譜型相調制橢圓偏振儀(SPME)是一款的儀器，它采用光彈性晶體來調制偏振光，而不是傳統橢偏技術中的機械偏光裝置。
與傳統橢偏儀相比，UVISEL光譜型橢偏儀能夠在全譜范圍內測橢偏角(Y, D)，從而可以對透明襯底、超薄薄膜和折射率接近的樣品進行特性分析。
相調制技術的原理，使得UVISEL光譜型橢偏儀能夠進行參數測量，包括較為化度、各向異性以及Mueller矩陣元素的確定。高達1毫秒/每數據點的快速數據采集速率，使得UVISEL成為動態研究和液態表面測量的可靠的解決方案。
UVISEL是一臺多功能的光譜型橢偏儀。它覆蓋了190nm到2100nm的寬光譜范圍，而且提供了一系列的自動選件和附件來增強系統的功能、滿足您的實驗需求。模塊化的設計使得UVISEL配置靈活，可以離線、在線甚至為減小占地面積和滿足超凈間要求而集成到一個機柜中。
二、 技術特點
? 光譜型相調制橢圓偏振儀
? 精度和靈敏度良好
? 寬光譜范圍：142到2100納米
? 模塊化設計
? 包含成熟的光譜型橢圓偏振儀軟件包
? 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應池、液體池、密封池等多種附件
三、主要應用
測量厚度、反射率和透射率、折射率等光學常數
? 單層膜或多層膜疊加
? 單一膜層
? 液態膜層
四、技術能力
光譜波長范圍：190-2100nm
光源：75W Xe燈
光斑大?。簶伺?lt;3mm，小光斑50μm可選
探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優化的PMT和IGA探測器
自動樣品臺尺寸：6/8寸多種樣品臺可選
自動量角器：變角范圍35° - 90°，全自動調整，小步長0.01°
五、應用
半導體薄膜：光刻膠、工藝薄膜、介電材料
液晶顯示：OLED、玻璃厚度、ITO
光學鍍膜：硬涂層厚度、減反涂層
高分子薄膜：PI、PC
