作為一款缺陷形貌分析的測量儀器，其主要目的是對大型樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許多種錯誤的存在。Park NX20，這款大尺寸樣品原子力顯微鏡，憑借著數據準確性，在半導體和超平樣品行業中大受贊揚，ParkNX20擁有業界便捷的設計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。
強大全面的分析能力，Park NX20具備的功能，可快速幫助客戶找到產品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創意的解決方案。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針尖端更鋒利、耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。
產品特點
1）Smartscan智能掃描模式，“1，2，3”點擊即可實現成像
2）Pinpoint Nanomechanical力控出圖模式，更優越的力學形貌成像及各種電學測試
3）強大的內置集成軟件系統，自帶LFM/液相AFM/MFM/EFM/KPFM/Force Curve軟件模式
技術參數
低噪聲XYZ位置傳感器
高速Z軸掃描器，掃描范圍15μm
自動多樣點掃描，集成編碼器的XY自動載樣臺（編碼器可用于所有自動樣品載臺，XY馬達運動工作時分辨率為1 μm，重復率為2 μm。Z馬達運動的分辨率為0.1 μm，重復率為1 μm）
用于高級掃描模式易插拔擴展槽。
200mm樣品臺（可選擇300mm樣品臺）
選項/模式
標準成像 | 電學性能測量 | 機械性能測試 |
? 真正非接觸式 ? 接觸式 ? 側向摩擦力顯微技術（LFM） ? 相位模式，輕敲模式 | ? 導電AFM（ULCA和VECA） ? 靜電力顯微鏡（EFM） ? 壓電力顯微鏡（PFM） ? 掃描電容顯微鏡（SCM） ? 掃描開爾文探針顯微鏡（KPFM） ? 掃描電阻顯微鏡（SSRM） | ? 力調制顯微鏡（FMM） ? （PFM）壓電力顯微鏡 ? 力調制顯微鏡（FMM） ? 壓痕，納米刻蝕 ? 相位成像 |
磁性能 | 熱性能 | |
? 磁力顯微鏡（MFM） | ? 掃描熱顯微鏡（SThM） |
應用
用于失效分析和大型樣品研究的領先的納米計算工具，滿足各個領域的研究
缺陷檢查成像和分析
高分辨率電子掃描模式
對樣品合基片進行表面粗糙度測量
樣品側壁三維結構的測量
