除了NANO型號，還有從手動到自動，單氣路-較多10氣路的多種等離子清洗機。

NANO等離子系統能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統的形式，主要有以下領域：

· 分析

· 考古

· 汽車行業

· 小批量生產

· 分析（REM,TEM）

· 醫療技術

· 滅菌

· 研究和開發部門

· 考古

· 紡織技術

· 塑料技術

特點 

·  多功能型模塊化設計 ·  多種腔體可選擇

· 3.5\7寸觸摸屏人機交互界面(PCCE控制)

· 存儲50套工藝參數(PCCE控制)

· 三種頻率發生器可選擇

· 方形腔體1~5層分層電較為(PG/PF)

用途 

·  兼容6''及以下wafer的表面處理

  適合于批量生產使用

用于不同材料表面的處理